Синев Л. С., Рябов В. Т., Тиняков Ю. Н.
Рассмотрены механические напряжения, возникающие в деталях изделий микросистемной техники из стекла и кремния после их соединения электростатическим методом...
Синев Л. С., Рябов В. Т., Тиняков Ю. Н. Коэффициентные...